無(wú)塵凈化車(chē)間可分為六個(gè)等級。分別為1級、10級、100級、1000級、10000級和100000級:
一級無(wú)塵車(chē)間主要用于制造一些集成電路的微電子行業(yè),而相對于集成電路的精確要求是亞微米。
10級潔凈室主要用于加工寬度小于2微米的半導體工業(yè)。
很多人認為100級無(wú)塵車(chē)間是最常用、最重要的,人們錯誤地認為100級潔凈室,是為了說(shuō)明對無(wú)菌環(huán)境的要求較高。一般來(lái)說(shuō),100級潔凈室用于醫藥行業(yè)的無(wú)菌制造,主要用于手術(shù),就像它可以用于骨髓移植患者術(shù)后的隔離治療一樣。
1000級一般用于生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)光學(xué)產(chǎn)品。
一萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間主要用于裝配液壓設備或積壓設備。當然,有時(shí)也用于食品飲料行業(yè),在醫療行業(yè)也很常見(jiàn)。
一萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間,在許多工業(yè)部門(mén)都會(huì )使用,就像在制造光學(xué)產(chǎn)品時(shí),有時(shí)也用于制造較小的部件一樣。當然,在食品和飲料的加工中,醫藥行業(yè)的生產(chǎn)也將使用這一級無(wú)塵車(chē)間。
我們所說(shuō)的無(wú)塵車(chē)間是一種人工環(huán)境,其中所含的顆粒遠遠低于一般環(huán)境,隨著(zhù)集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展,對制造環(huán)境(無(wú)塵車(chē)間)潔靜度的要求也越來(lái)越高,在工業(yè)上,即使顆粒尺寸小于1微米,也會(huì )阻礙產(chǎn)品的運行或降低其使用壽命。由于奈米技術(shù)的興起,半導體的關(guān)鍵尺寸不斷縮小,集成電路的積累度不斷增加,灰塵顆粒更容易使芯片失效或可靠性惡化。舉例來(lái)說(shuō),當金屬塵粒落到金屬導線(xiàn)上時(shí),就會(huì )造成金屬導線(xiàn)短路。另外,酸性離子化合物的塵粒掉落在金屬導線(xiàn)上,有腐蝕的可能性,因此潔凈現場(chǎng)是集成電路制造不可或缺的要素。
越是排在前面,等級越高,1級是最高的,最常見(jiàn)的是百級到十萬(wàn)級。潔凈室的使用要求:保持潔凈室的潔凈度,進(jìn)出人員有一定的穿著(zhù)規定;10000級和100000級,必須穿長(cháng)袍潔凈室、潔凈室、帽子和面罩;1000級以上(含),必須穿特殊潔凈室、潔凈室包裹全身,并帶手套和面罩。
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